DE-L600A磁悬浮液体泵
DE-L600A是一种无轴承磁悬浮离心泵，利用磁悬浮方案代替传统机械轴承，实现转子与泵壳无接触地高速旋转。泵壳、转子、密封圈等过流部件均采用高纯氟橡胶制成。泵送的流量/压力可以在闭环控制模式下进行精准控制。
DE-L600A具有高洁净度、高可靠性、低脉动、低剪切力等特点，同时具备速度/流量/压力闭环多种控制模式。本产品可以提供0-75LPM流量和0-3.2bar压力输出。
该系列泵主要用于半导体晶圆清洁、抛光、金属电镀、湿法刻蚀等工艺和生物制药行业的液体介质传输等环节，是超洁净流体输运的优选解决方案。
主要特点
超高洁净度：过流面积比隔膜泵小几倍，相应金属离子、阴离子、TOC析出量更少。
极低颗粒污染：转子与泵壳无接触，无磨损，颗粒污染水平接近本底污染。
高可靠性：无轴承磨损和密封故障，正常运行时间大幅提升。
低脉动：离心泵送原理，流量压力输出稳定。
低剪切力：无窄缝、死区，适用于CMP研磨浆料和电镀液输运。
抗腐蚀：泵壳采用高纯PTFE材料，转子采用高纯PFA材料，O-ring为高纯氟醚橡胶，能够输送不同的特殊工艺液体。
安装空间小：对比同性能隔膜泵或波纹管泵，体积更小。
产品规格
| 指标 | 单位 | 规格参数 |
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一、产品信息 |
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型 号 |
/ |
DE-L600A |
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尺 寸（L*W*H） |
mm |
181*150*176 |
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重 量 |
kg |
7.6 |
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防护等级 |
/ |
IP67 |
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泵体材料 |
/ |
转子:PFA 泵壳：PTFE 密封圈:FFKM 螺钉：PVDF/不锈钢 电机壳：ETFE coated Aluminum |
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密封性 |
MPA |
≥0.8MPA （25℃） |
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出入水口规格 |
inch |
Pillar 1”或Flaretek 1” |
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工作原理 |
/ |
离心式 |
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二、使用环境 |
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使用环境温度 |
℃ |
0~40 |
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使用环境湿度 |
/ |
15-95% |
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使用液体类型 |
/ |
纯水、强酸、强碱 |
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最高液体温度 |
℃ |
90 |
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存储温度 |
℃ |
-20~80 |
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存储湿度 |
/ |
15-95% |
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电源类型 |
/ |
交流电源 |
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三、技术参数 |
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额定电压 |
V |
1x 220 V AC, 50/60 Hz |
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电压波动范围 |
/ |
±10%（此范围内泵能正常使用） |
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额定电流 |
A |
5 A (rms) |
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输入功率 |
W |
600 |
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最大流量 |
L/min |
75 |
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最大扬程 |
bar |
3.2 |
