M30A系列Relay型真空计
M30系列真空计是上海振太仪表有限公司和深圳市新凯来技术有限公司联合开发的常温不加热或45℃加热或100℃加热的Relay型绝对真空度电容薄膜真空计。该系列产品利用内部的耐腐蚀金属薄膜的形变，感应腔体内真空度的变化。通过高精度电路将薄膜与相邻固定电极形构成的电容的变化量转化为模拟输出量。
M30系列设计了两个跳闸点功能，该功能通过传感器电路内置的可调继电器电路实现。用改锥旋转壳体顶端裸露的电位器可更改跳闸点的设定值，跳闸点的设定范围为满量程的0.1%-100%。本系列产品提供三个测试点，TPA、TPB和GND，用来测量跳闸点的设定值。产品增加2个双色LED指示灯，用于显示跳闸点的状态。
M30系列真空计具有高精度、高稳定、高可靠的特点，适用于绝大多数工业、半导体领域。本产品提供1 Torr~1000 Torr的满量程压力，同时拥有±0.12%±0.25%或±0.5%读数的测量精度和0.001%的高分辨率。本系列产品采用高镍基合金等材料制造，具有优良的抗腐蚀性，能够在不同工艺气体环境中运行。
主要特点
产品量程范围广，最低可至1 Torr，最高可达1000 Torr；
具有±0.12%或±0.25%或±0.5%读数精度，精准读取设备腔体真空度；
配备relay功能，继电器设定电压可调，灵活控制阀门开启或泵组启动；
良好的温度稳定性，消除环境温度变化造成的测量误差；
设备支持±5%供电电压波动，避免供电故障对产品可靠性的冲击；
可选配腔体检测接口，灵活搭配8 VCR female、4 VCR female、NW16-KF等接口；
优良的开关重复性和长期稳定性能力，保证生命周期内产品稳定工作，避免零点漂移导致设备工艺成品率波动；
传感器采用高镍基合金材料制造，具有优良的抗腐蚀性，可适用于不同半导体工艺气体环境（卤素、去离子水、臭氧、CF4、SF6等）；
产品拥有高耐压极限，保障产品在腔体过压环境下的安全。
产品规格
|
指标 |
单位 |
规格参数（常温不加热） |
规格参数（45℃加热） |
规格参数（100℃加热） |
|
量程 Full Scale Ranges |
Torr |
10/20/100/1000 |
1/10/20/100/1000 |
1/10/20/100/1000 |
|
精度 Accuracy |
% of reading |
±0.25%/±0.5% |
±0.12%/±0.25% |
±0.25%/±0.5% |
|
分辨率 Resolution |
% of FS |
0.001% |
||
|
零点温漂系数 Zero Temp. Coefficient |
%FS/℃ |
0.015% |
||
|
温漂系数 Span Temp. Coefficient |
%reading/℃ |
0.04% |
||
|
运行温度范围 Ambient Operating Temp. |
℃ |
0 ~ +50℃（不加热） |
+15 ~ +40℃（45℃加热） |
+15 ~ +50℃（100℃加热） |
|
Sensor加热温度 Sensor heated temp. |
℃ |
不加热 |
45℃ |
100℃ |
|
预热时间 Warmup Time |
h |
0.5 |
4 |
4 |
|
耐压极限 Overpressure Limit |
Psi |
45 |
||
|
传感器材料 Materials Exposed to Process Gases (excluding optional fittings) |
/ |
高Ni基合金 |
||
|
供电电压 Input Power Required |
VDC |
±15VDC (±5%) @ 75 mA max |
±15VDC (±5%) @ 400 mA max |
±15VDC (±5%) @ 600 mA max |
|
输出电压 Output Signal |
VDC |
0 ~ 10V | ||
|
Trip Relay规格 Trip Relay Specifications |
/ |
2个可调跳闸点 |
||
|
电气接口 Electrical Connector |
/ |
15-pin Type D 或定制 |
||
|
腔体检测接口 Connection Fittings – Standard |
/ |
NW16 KF or 8 VCR (F) 或定制 |
||
|
尺寸 Size |
mm |
Φ76.7*181.4（max，含接口） |
||
|
安装方式 install type |
/ |
平放 or 竖放 |
||
